Производство Ки-67 имело наивысший приоритет, и помимо 5-го завода Мицубиси в Нагои, который выпустил первый "Хирю", вскоре к выпуску самолета подключились заводы Мицубиси в Кумамото и Чите, Кавасаки в Гифу, Тачикава и "Ниппон кокусай". Изменения в серийную модель вносились мало, только, начиная с 451-го самолета, одиночный хвостовой 12,7-мм пулемет был заменен на спарку. С 751-й машины планировалось увеличить бомбовую нагрузку до 1250 кг. Однако на темпах производства сказалось землетрясение, происшедшее в декабре 1944 г, и налеты американской авиации. Особенно сократился выпуск двигателей для бомбардировщика. В результате до конца войны было сдано только 698 Ки-67.
Кроме того было спроектировано несколько опытных самолетов. Так 21-й и 22-й Ки-67 были переделаны под двигатели Ха-104 Ру с турбокомпрессором - их планировали в качестве прототипов тяжелого перехватчика Ки-109. Проект Ки-67-II предусматривал использования двух двигателей воздушного охлаждения Мицубиси Ха-214 мощностью 2400 л.с. Для установки этих двигателей использовались 16-й и 17-й Ки-67. Один Ки-67 летал в качестве буксировщика экспериментального транспортного планера "Маназуру" (Кран). Для применения летчиками-камикадзе на Тачикаве бомбардировщики переделывались в вариант Ки-67 КАИ - все башни были сняты, экипаж был сокращен до трех человек, в самолеты были установлены две обычные 800- кг бомбы или ставился специальный 2900-кг заряд со взрывателем на длинной штанге, вынесенной вперед. Один Ки-67-I использовался для испытания противокорабельных ракет I-Go-IA. Кроме того, так и не дошли до летного состояния созданные на базе "Хирю" тяжелый эскортный истребитель Ки-69, тяжелый истребитель Ки-112, транспортный самолет Ки-97 на 21 пассажира.
Тактико-технические характеристики Ки- 67.
Тип: тяжелый бомбардировщик.
Двигатели: два "армейский тип 4" - 18- цилиндровый, воздушного охлаждения, взлетной мощностью 1900 л.с. и 1610 л.с. на высоте 6100 м.
Вооружение: по одному 12,7-мм пулемету в носовой, хвостовой и двух боковых установках, одна 20-мм пушка Хо-5 в верхней башне; бомбовая нагрузка нормальная - 500 кг, максимальная - 800 кг.
Максимальная скорость: 537 км/ч на высоте 6090 м.
Крейсерская скорость: 400 км/ ч.
Время подъема на высоту: 6000 м - 14,5 мин.
Потолок: 9470 м.
Дальность полета: нормальная - 2800 км, максимальная - 3800 км.
Вес: пустого - 8649 кг, взлетный - 13765 кг.
Размеры: размах крыла - 22,5 м; длина - 18,7 м; высота -7,7 м; площадь крыла - 65,85 м>2.
Одним из наиболее аэродинамически совершенных самолетов Японии во время второй мировой войны был эскортный истребитель Мицубиси Ки-83, спроектированный Томио Кубо по требованиям, выданным воздушным штабом армии в мае 1943 г. Первоначально Кубо вместе с инженерами Музино, Като и Сугияма рассматривали вариант с одним Мицубиси Ха-203-II - Н-образным, 24-цилиндровым двигателем жидкостного охлаждения. Проект назывался Ки-73, но неудача с доводкой двигателя остановила работы еще на ранней стадии. Интересно, что союзники узнали о существовании проекта Ки-73, который они считали уже подготовленным к серийному производству и дали ему обозначение "Стив".