После этого настала очередь «снисходительных». 30 марта были арестованы Дантон, Демулен и еще ряд депутатов Конвента. В начале апреля над ними состоялся суд. Чтобы добиться обвинительного приговора для людей, имевших среди революционеров огромный авторитет, робеспьеристам пришлось грубо нарушить процессуальные нормы. Приговор был вынесен, обвиняемые казнены.
Важным шагом на пути к «царству добродетели», по мнению Робеспьера, должно было стать введение гражданского культа Верховного существа, которой бы обеспечил сакрализацию республиканских добродетелей. 7 мая Конвент после доклада Робеспьера принял декрет, где сформулировал принципы новой религии и установил соответствующие праздники. Первый из них состоялся уже на следующий день. Однако насаждаемый сверху искусственный культ не нашел отклика в народе.
Другой мерой по реализации робеспьеристского идеала стало ужесточение террора. 10 июня 1794 г. (по революционному календарю — 22 прериаля II года Республики) по докладу Кутона, активно поддержанного Робеспьером, Конвент принял декрет, лишавший обвиняемых права на защиту и предусматривавший для «врагов народа» единственное наказание — смертную казнь. Само понятие «враг народа» было крайне расплывчатым. Таковыми, например, признавались те, кто «пытается вводить народ в заблуждение и препятствовать его просвещению, портить нравы и развращать общественное сознание». Закон 22 прериаля открыл дорогу Великому террору. Только в Париже с 11 июня по 27 июля было казнено 1376 чел.
Среди депутатов Конвента росло недовольство диктаторской властью Робеспьера и его сподвижников. Те, зная о зреющей оппозиции, готовились нанести по ней удар. Однако противники опередили их. 27 июля (9 термидора), когда Сен-Жюст собирался выступить в Конвенте с обвинениями против ряда депутатов, часть монтаньяров, в том числе членов Комитета общественного спасения, открыто обвинила Робеспьера и его окружение в «тирании» и при поддержке «болота» провела декрет об их аресте. На следующий день Робеспьер, Сен-Жюст, Кутон и их сторонники (всего 22 человека) были казнены. Революционное правление закончилось.
Свержение Робеспьера положило конец системе террора. Хотя некоторые из термидорианцев, как называли участников «революции 9 термидора», и хотели бы сохранить эту систему в прежнем виде, большинство членов Конвента, где тон теперь задавали депутаты «болота» Сийес, Тибодо, Буасси д’Англа, Камбасерес и др., сочло необходимым ее демонтировать. Уже в августе 1794 г. полномочия Комитетов общественного спасения и общей безопасности были существенно сокращены, Революционный трибунал реорганизован, Коммуна упразднена. На свободу вышли все, кто находился в тюрьмах по закону о подозрительных и против кого не было выдвинуто никакого обвинения. Осенью власти закрыли Якобинский клуб. Состоялись процессы над наиболее одиозными «террористами»: организатором утоплений в Нанте Каррье, «палачом Арраса» Лебоном, обвинителем Революционного трибунала Фукье-Тенвилем. Все они были осуждены и казнены. Весной 1795 г. Конвент постановил выслать в Гвиану ряд бывших монтаньяров, которые играли видную роль в период революционного правления, в том числе бывших членов Комитета общественного спасения Колло д’Эрбуа, Бийо-Варенна и Барера, хотя они и принимали участие в свержении Робеспьера. Одновременно в Конвент вернулись оставшиеся в живых жирондисты.