Знание-сила, 1997 № 01 (835) (Журнал «Знание-сила») - страница 40
Населив всей этой «живностью» искусственный ландшафт, созданный из пластмассовых камней, различных деревянных препятствий и кремниевого «озера», ученый пытается «вывести» минироботов, которые в один прекрасный день смогут взять на себя вместо человека выполнение всей наименее приятной работы по дому, типа мытья окон и полов. Причем Тилден является своего рода еретиком среди других ученых, разрабатывающих минироботов.
Дело в том, что уже сейчас стало возможным использовать при конструировании минироботов микроустройства, которые изготовляются при помощи новейших технологий обработки кремния. Если раньше каждый сэкономленный сантиметр того или иного устройства стоил слишком дорого, то в последнее время ситуация стала меняться.
В самом скором будущем нас ожидает нашествие всевозможных механизмов, размером меньше пылинки. Некоторые из них, вполне возможно, смогут путешествовать по кровеносным сосудам человека.
Большинство микромеханизмов изготавливается точно таким же образом, что и микропроцессоры,— способом фотолитографии. Ультратонкие слои кремния, оксида кремния или металла окрашиваются веществом, называемым фоторезист, пластине придается желаемая форма, а затем ее поверхность экспонируется, что химически изменяет фоторезист. Неизменные участки фоторезиста затем подвергаются травлению и выводятся из, скажем, электронной схемы. Путем вытравления «приносимых в жертву» слоев оксида кремния инженеры могут создавать структуры, внизу которых существует зазор, например, консольную «балку», нависающую над углублением в кремниевой пластине, или поворотный зубец.
Именно такой процесс позволяет достаточно просто наладить поточное производство микроэлектромеханических систем. И поэтому они дешевы. Например, стоимость производства одного акселерометра микромасштаба поточного производства стоит около десяти долларов, а его большой, традиционный аналог уже обходится в сто раз дороже.
Несмотря на то что пока никому не пришло в голову использовать микромашины для изготовления микророботов, они широко применяются в устройствах, которые измеряют силу и давление, особенно если необходимо максимально уменьшить их размер и вес. Так, например, прибор для измерения кровяного давления фирмы «Lucas Nova Sensor» имеет в поперечнике всего 700 микрометров и крепится к заполненному солью катетеру, вставляемому в кровеносный сосуд. Немецкая компания «Microparts» тоже работает на рынке медицинских приборов и разработала ингалятор, в котором при помощи микроустройств для больных астмой лекарство распыляется капельками величиной менее 5 микрометров.