Знание-сила, 1997 № 01 (835) (Журнал «Знание-сила») - страница 41
В то время как микросистемы широко применяются в датчиках, микродвигатели или микронасосы находятся на стадии освоения. Кроме нескольких узких областей, приводы на основе мнкротехнологии все еще исключение из правил.
Одной из таких специализированных областей применения новой технологии является манипуляция светом. В цифровом светопроцессоре фирмы «Texas instruments» (элементе проекторов и больших телевизоров) на микросхеме размером полтора на один сантиметр находится около пятиста тысяч алюминиевых зеркал, каждое из которых может двигаться независимо и управляется микромеханизмами. Используя при стандартных разрешениях цифровой светопроцессор, у которого нет строк развертки и видимых элементов изображения, можно получить изображение намного лучшее, чем в телевизорах с электронно-лучевой трубкой.
Еще одна впечатляющая область применения микроприводов — управление масштабным воздействием малых возмущений. Крыло самолета, например, создает и изменяет вихревые потоки во время полета. Микроустройства могут обнаруживать и видоизменять эти завихрения, используя небольшие закрылки, способные мгновенно опускаться. Набор таких приспособлений вполне способен изменить воздушный поток, создаваемый всем крылом.
Несмотря на близкое родство микроэлектроники и микромеханизмов их отношения сейчас выглядят, скорее как несчастный брак. Например, отдельные компоненты микромеханизмов — миниатюрные зубцы, необходимо подвергать высокотемпературной обработке. Без такой обработки они «заворачиваются, как картофельные чипсы», уверяет Пол Макуортер, руководитель отдела интеллектуальных микросистем Национальной лаборатории Сацдия, штат Нью-Мексико, одного из основных центров разработок в области микроэлектромеханических систем. Но при обработке почти готовых микроэлектронных схем в условиях высоких температур они разрушаются, так как плавятся алюминиевые соединения и выводятся химические примеси, добавляемые к полупроводникам, чтобы изготовить транзисторы и другие микродетали.
Макуортер и его коллеги разработали новую технологию, которая поможет решить эту проблему. Проложив «траншею» в кремниевой пластине, они построили микромеханизм внутри нее, а затем подвергли пластину тепловой обработке. После чего заполнили желобок двуокисью кремния до выравнивания поверхности. Затем изготавливается микроэлектронная часть, а в самом конце цикла оксид кремния вытравляется, и механическая часть выходит на поверхность.
Что нас ждет в будущем? Общий рынок микромеханизмов оценивается к двухтысячному году в четырнадцать миллиардов долларов (а рынок персональных компьютеров в 1996 году равнялся десяти триллионам долларов). Подобное расширение рынка будет в значительной степени обязано взрывообразному увеличению областей применения сегодняшних датчиков. Микромеханизм может стоить несоизмеримо меньше, чем все устройство, куда он входит, но его рабочие характеристики, размер и вес станут ключевыми для победы над конкурентами. Также будут появляться все более сложные датчики. Сейчас, к примеру, большое внимание уделяется разработке инерциальных систем управления автомобилем. Помимо акселерометров, для таких систем понадобятся гироскопы, которым необходимы постоянно вращающиеся или вибрирующие детали. Эти активные приборы помогут установить связь между датчиками и приводами.