С позиций философского материализма подходил к критике религии И. А. Эйнзидель (1754–1837). Происхождение религии он выводил из бескультурья и невежества, связывал с «рабским сознанием» людей. Религия абсолютно бесполезна: «Народ ее не понимает, и она не может ни в чем помочь ему». Особое возмущение вызывала у Эйнзиделя христианская религия. «Всякая религия имеет свои глупости, но эта содержит их в превосходной степени». Немецкий философ характеризует христианство как религию рабов, рассчитанную на унижение и запугивание человека. Зло и остроумно высмеивает он веру в чудеса, евангельские и библейские мифы. Острой критике подвергал Эйнзидель и религиозную мораль. Только безрелигиозность открывает возможность становления «истинной морали». Свои произведения Эйнзидель не публиковал, до нас дошли лишь выписки из них, сделанные известным немецким гуманистом и демократом И. Г. Гер–дером (1744–1803), с которым Эйнзидель находился в дружеских отношениях.
К концу XVIII в. относится так называемый «спор об атеизме», который характеризует идейную обстановку, сложившуюся в Германии к этому времени. Спор был вызван статьей Ф. К. Форберга (1770–1848) «Развитие понятия религии», опубликованной в 1798 г. на страницах Йенского «Философского журнала», который издавался Фихте. Статья Форберга носила атеистический характер, хотя автор не отрицал значения религии. Однако в понимании Форберга религия состоит не в почитании божества, она возникает из стремления человека к добру и справедливости. Традиционное же представление о боге как бесконечном, абсолютном существе Форбергом фактически отрицалось и бытие бога объявлялось недоказуемым.
Лишь немногие немецкие мыслители выступали против религии с открытых атеистических позиций. Большинство из них критиковало религию с позиций свободомыслия, не порывая полностью с религией. Это относится к таким видным представителям немецкого Просвещения, как Готхольд Эфраим Лессинг (1729 1781) и Иоганн Готфрид Гердср (1744–1803).
Первый из них считал себя последователем Спинозы и утверждал, что бог существует не вне мира, а в нем самом. «Ортодоксальные понятия о божестве не существуют более для меня», — писал Лессинг. К проблеме религии он подходил исторически, утверждая, что религия с необходимостью возникает на определенной ступени развития человечества и с такой же необходимостью исчезает. Большое значение имели произведения Лессинга, посвященные борьбе с церковной ортодоксией. В драме «Натан Мудрый» он отстаивал веротерпимость, равенство людей независимо от их вероисповедания и сословного происхождения. Язычество, иудаизм и христианство Лессинг рассматривал как последовательные ступени нравственной эволюции человечества, конечной целью которой является торжество разума и справедливости.