(патентообладатель: федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем» (ФГУП НИИКИ ОЭП); приоритет от 21 июля 2005 г.)
Извлечения из реферата изобретения
Изобретение относится к области микро– и нанотехнологий обработки материалов с применением лазерного излучения. Техническим результатом изобретения является разработка производительного, экологически чистого, высокотехнологичного способа получения микроструктур с плоским дном как ячеистого, так и канального типа.
Патент РФ № 23000158 на изобретение «Способ формирования субмикронной и нанометровой структуры» (патентообладатель: Институт информатики и микроэлектроники РАН; приоритет от 29 сентября 2005 г.)
Извлечения из реферата изобретения
Изобретение относится к области микроэлектроники, микро-и нанотехнологии.
Сущность изобретения: способ формирования субмикронной и нанометровой структуры в подложке предусматривает формирование в слое на поверхности подложки рельефных структур, нанесение пленки до уменьшения размеров рельефной структуры до субмикронных и нанометровых размеров, анизотропное и селективное относительно материалов пленки и исходного рельефного слоя травление полученной структуры вместе с материалом подложки в химически активной плазме до образования в подложке рельефной структуры субмикронных и нанометровых размеров, глубиной более чем в два раза превышающей ее ширину.
Рис. Из описания к патенту РФ № 23000158 на изобретение
Техническим результатом изобретения является обеспечение переноса рисунка маски в нижележащий слой подложки с размерами, достигающими субмикронных и нанометровых величин.
Патент РФ № 2221324 на изобретение «Устройство перемещения» (патентообладатель: государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электроники и математики (технический университет); приоритет от 19 декабря 2001 г.)
Формула изобретения
Устройство перемещения, содержащее стол и направляющую, шесть пьезоэлектрических преобразователей, связанных со столом и направляющей по структуре l-координат, отличающееся тем, что пьезоэлектрические преобразователи связаны со столом и направляющей посредством двенадцати упругих торсионов соответственно в устройство дополнительно введено шесть приводов и неподвижное основание, причем приводы связаны с направляющей и основанием посредством двенадцати шарниров соответственно также по структуре l-координат, причем шарниры и торсионы расположены на разных торцах направляющей.