Вокруг Вейсгаупта стал формироваться круг единомышленников, из которых самым близким к основателю по взглядам был Франц Ксаверий Цвак (Катон), двадцатилетний студент. Поначалу орден состоял только из баварцев, но начиная примерно с 1780 года его новые адепты — литератор барон Адольф фон Книгге (Филон), гамбургский издатель Христов Боде, геттингенский профессор философии М. Федер — стали оказывать содействие в создании филиалов союза в других землях Германии. В Веймаре в орден вступили наиболее влиятельные члены масонской ложи «Амалия»: Гете, Гардер и герцог Карл-Август. По неподтвержденным сведениям, членами ордена были Моцарт, Шиллер, Виланд.
Общество росло и ширилось. К середине 1782 года в ордене состояло уже около трех сотен членов, а еще через два года — более 650 человек. Это была сравнительно небольшая группа интеллигенции и либеральных дворян, плюс авангард немецкой буржуазии, слабо связанные с основными слоями общества. В отличие от многих подобных образований, иллюминаты Вейсгаупта были принципиальными противниками вовлечения в свое движение «непросвещенных» народных масс.
В начале деятельности ордена Вейсгаупт пользовался практически неограниченной диктаторской властью, но позднее на равные с ним права участия в руководстве стали претендовать и другие члены ареопага — верховного органа ордена. Вейсгаупт принял их требования, и в июле 1781 года эти требования были утверждены специальным решением ареопага. К этому времени иллюминаты имели свои отделения как в различных германских государствах, так и в Австро-Венгрии, Польше, Нидерландах, Дании, Швеции, Италии, Испании, Швейцарии (где одним из инициаторов филиала ордена стал знаменитый педагог Песталоцци) и во Франции — в Страсбурге, Гренобле и Лионе. В Париже к иллюминатам примкнули видные писатели, ученые, адвокаты.
К масонам Вейсгаупт относился практически с такой же неприязнью, как к иезуитам: еще до создания ордена иллюминатов, в 1774 году, он ненадолго стал масоном, но достаточно быстро разочаровался в масонстве и его мнимых тайнах, выдаваемых за значительные. Однако вскоре после укрепления ордена у Вейсгаупта (а потом и у других членов ареопага) возникла идея инфильтрации лож и подчинения их своим целям. К тому же ареопаг посчитал, что можно будет укрыть под масонской оболочкой и само существование ордена иллюминатов. Секретность, так любимая в масонских ложах, должна была помочь осуществлению планов иллюминатов.
И поначалу казалось, что все получается, как и было задумано. Им на самом деле удалось подчинить себе ложу в Мюнхене, с помощью которой можно было создавать дочерние ложи. Вейсгаупт и его единомышленники надеялись, используя хаотическое состояние немецкого масонства, создать объединение лож под эгидой неких якобы существующих в действительности «древних вождей». Но этот план, не только в Германии, но и в Польше, и во Франции, не сработал. По мере разрастания ордена и расширения его влияния стали возникать и усиливаться внутренние трения между «низами» и «верхами» иерархии. К тому же консервативные масоны стали предостерегать против «антихристианских» и «разрушительных» тенденций деятельности Вейсгаупта и его последователей.