После ухода завоевателей над выжженной страной установилась мертвая тишина. Библия сообщает, что Ашшурбанапал переселил в принудительном порядке «сузианцев и эламитов» даже в Самарию в Палестине (Ездра 4, 9—10). Сузы запустели. «На городской площади раздавался лишь крик совы», — говорится в одной из хроник.
Царь Хумпанхалташ III пытался найти прибежище в горном «рае на северо-западе от Сузианы, избрав своей столицей разрушенный Мадакту. Чтобы установить дружественные отношения с Ашшурбанапалом, он предложил выдать ему сына прежнего вавилонского царя Мардукапалиддина. Когда в 645 г. в Элам прибыли ассирийцы во главе с Белибни, чтобы увести жертву, впавший в отчаяние вавилонянин велел своим телохранителям убить себя. Ассирийский военачальник приказал уложить труп в соль и переправить своему повелителю в Ниневию.
Однако, несмотря на все свое раболепство, Хумпанхалташ III ничего не добился. Внутренние неурядицы вынудили его бежать на север Лурестана. Там он попал в плен к воинам племени эллипи, которые выдали его Ашшурбанапалу. Это произошло, вероятно, в 644 г. В Ниневии Хумпанхалташ III, впрягшись вместе со своим двоюродным братом Таммариту II и другими пленными правителями в роскошную колесницу ассирийского царя, должен был дотащить ее к храму богини Иштар, где Ашшурбанапал в торжественной обстановке приступил к освящению новогоднего праздника.
О дальнейшей судьбе последнего царя Элама нам ничего не известно.
Положение Элама лишь немногим изменилось к лучшему, когда после смерти Ашшурбанапала в 629 г. ассирийское могущество пошло на убыль. Тем временем мидяне стали господствующей силой в районе современного Иранского Курдистана (в древнем Кутиуме). Отразив нападение скифов, индийским царь Киаксар (Хувахшатра) в союзе с вавилонским царем Набопаласаром завоевал летом 612 г. ассирийскую столицу Ниневию. Ассирия была поделена между союзниками; Сузиана отри этом отошла к Вавилонии.
Граничащие с востока горные районы Аншана, хотя и оставались во владении персов, отныне, однако, попадали в зависимость от Мидии. Лишь после того как персидский царь Кир II Великий в 550 г. сбросил индийское господство, а в 539 г. завоевал Вавилонию, к нему отошла и Сузиана. Тогда Элам целиком вошел в Персидскую державу.
В формирующейся Ахеменидской империи Эламу как третьей сатрапии после Персии и Мидии отводилась все еще немаловажная роль. Позднее, когда великий Дарий в 522 г. захватил власть в созданном Киром государстве, Элам сделал робкую попытку восстать. Однако достаточно было посланного Дарием уполномоченного, чтобы подавить восстание. Вторая, самая последняя попытка поднять восстание в 519 г. также потерпела неудачу: некий Аттамета, т.е. другой Аттахамити-Иншушинак, провозгласил себя царем Элама. Он был побежден военачальником Дария в открытом бою, взят в плен, доставлен к персидскому царю и казнен.