Сын и наследник Кира II, Камбиз II (530–522 гг. до н. э.), в мае 525 г. до н. э. завоевал Египет и принял титул «царь Египта, царь стран». Чтобы придать захвату Египта законный характер, он объявил, что является сыном от брака Кира II с царевной Нитетис, дочерью фараона Априя[9]. В марте 522 г. до н. э., получив известие, что престол в Парсе захватил его младший брат Бардийа (у античных авторов — Смердис), Камбиз II отправился на родину, но умер в пути при загадочных обстоятельствах. По официальной ахеменидской версии, трон государства занял не Бардийа, умерщвленный по приказу Камбиза II еще до похода на Египет, а некий Гаумата, выдававший себя за Бардийу. Более поздние источники считают эту версию ложной, утверждая, что к власти пришел настоящий Бардийа. Так или иначе, 29 сентября 522 г. до н. э. после семи месяцев правления Бардийа-Гаумата был убит заговорщиками, одним из которых был 28-летний Дарий сын Гистаспа (Виштаспы), взошедший на престол. Дед Дария, Арсам, приходился двоюродным братом Киру Великому.
Ахеменидская империя достигла при Дарий I (др. — перс. — Дарайавауш I, 522–486 гг. до н. э.) наибольшего могущества[10]. Границы государства простирались теперь от Македонии на западе до Индии на востоке, от Армении на севере до первого нильского порога на юге. Дарий I разделил государство на административно-податные округа — сатрапии[11], границы которых, как правило, совпадали с границами областей и стран, входивших в состав державы Ахеменидов. Сам Дарий I называл 23 таких страны, а «отец истории» Геродот приводил список 20 сатрапий и около 70 народов, включенных в империю[12].
При преемниках Дария I началось ослабление Ахеменидской державы, приведшее к постепенному распаду государства. Ксеркс I (486–465 гг. до н. э.) вынужден был отказаться от титула «царя Вавилона», при Артаксерксе II (404–358 гг. до н. э.) персы временно потеряли Египет, который в 342 г. до н. э. пришлось завоевывать вновь Артаксерксу III (358–338 гг. до н. э.). При последних Ахеменидах персы лишились Индии, Хорезма, Согдианы и других территорий на востоке.
В 338 г. до н. э. правлению Артаксеркса III был положен конец: он был отравлен личным врачом по наущению придворного евнуха Багойя. Знать возвела на престол Арзеса, сына Артаксеркса, однако и он оказался жертвою заговора (июнь 336 г. до н. э.) и был убит вместе со всей своей семьей. Летом 336 г. до н. э. на престол был возведен сатрап Армении Кодоман. Он, как и Дарий I, являлся представителем боковой ветви ахеменидского рода и при воцарении принял тронное имя Дарий III (336–331 гг. до н. э.).